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离子溅射对氚钛靶寿命的影响
离子溅射
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靶材密度
薄膜
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ZnO
薄膜
粉靶
溅射
磁控溅射沉积U薄膜性能研究
U薄膜
组织
结构
密度
内容分析
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关键词热度
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文献信息
篇名 新型多元对靶溅射沉积装置
来源期刊 四川真空 学科 工学
关键词 对靶溅射 溅射 装置 沉积
年,卷(期) 1990,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 67-69
页数 3页 分类号 TN305.92
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研究主题发展历程
节点文献
对靶溅射
溅射
装置
沉积
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
四川真空
半年刊
成都市第109信箱207分箱
出版文献量(篇)
395
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1
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