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录像盘金属化直流平面磁控溅射源
录像盘金属化直流平面磁控溅射源
作者:
Visse,DJ
王道生
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磁控溅射源
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录像盘金属化直流平面磁控溅射源
来源期刊
四川真空
学科
工学
关键词
录像磁盘
磁控溅射源
金属化
材料
年,卷(期)
1990,(3)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
26-40
页数
15页
分类号
TQ587.2
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四川真空
主办单位:
四川省真空学会
国投南光有限公司
出版周期:
半年刊
ISSN:
CN:
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出版地:
成都市第109信箱207分箱
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创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
395
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