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文献信息
| 篇名 | 组分调制ｄ—Si：H超晶格薄膜的微结构及界面特性 | ||
| 来源期刊 | 薄膜科学与技术 | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | 组分调制 超晶格 微结构 薄膜 | ||
| 年，卷（期） | bmkxyjs_1991,（3） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 167-172 | |
| 页数 | 6页 | 分类号 | O484 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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研究主题发展历程
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组分调制
超晶格
微结构
薄膜
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期刊影响力
薄膜科学与技术
主办单位：
南京电子器件研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
南京1601信箱43分箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
327
总下载数（次）
1
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