热丝CVD法分解丙酮合成金刚石薄膜

• 作者: 郑志豪 项金钟
• 来源期刊: 薄膜科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 热丝化学气相沉积 丙酮 金刚石薄膜
• 年，卷（期）: bmkxyjs_1991,（4）
• 页码范围: 40-45
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.18

摘要

本文采用热丝CVD方法，在丙酮和氢气系统下，用Si和Mo片作衬底进行了合成金刚石薄膜的研究。Raman谱、X射线衍射以及扫描电镜的分析结果表明，制备的金刚石薄膜是多晶金刚石薄膜，当丙酮量为1.1%时，晶粒尺寸约为1-1.7微米。生长速率约为0.4um/h，并讨论了金刚石薄膜质量与实验条件的关系。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	项金钟	华东师范大学物理系	1	0	0.0	0.0