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射频反应溅射(Al,Ti)N涂层的微结构与力学性能
(Al,Ti)N涂层
反应溅射
微结构
力学性能
Ti/ZrN2/Al薄膜界面扩散反应的研究
界面扩散
ZrN2
俄歇电子能谱
线形分析
Al含量对Ti1-XAlXN涂层组织结构的影响
多弧离子镀
Ti1-XAlXN涂层
组织结构
(Ti,Al)N
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 (Ti,Al)N薄膜的成分与结构
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 溅射 成分 结构 磁控 (Ti Al)N薄膜
年,卷(期) 1992,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 61-67
页数 7页 分类号 TN304.055
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研究主题发展历程
节点文献
溅射
成分
结构
磁控
(Ti
Al)N薄膜
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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