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IBAD过渡层对蒸镀Al膜结构及性能影响的研究
IBAD过渡层对蒸镀Al膜结构及性能影响的研究
作者:
杨杰
王晨
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离子束
辅助沉积
过渡层
薄膜
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篇名
IBAD过渡层对蒸镀Al膜结构及性能影响的研究
来源期刊
薄膜科学与技术
学科
工学
关键词
离子束
辅助沉积
过渡层
薄膜
年,卷(期)
1992,(4)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
35-40
页数
6页
分类号
TN405.94
字数
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辅助沉积
过渡层
薄膜
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
薄膜科学与技术
主办单位:
南京电子器件研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
南京1601信箱43分箱
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
327
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1
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