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节点文献
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沉积
半导体器件
RTP－CVD
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期刊影响力
江南半导体通讯
主办单位：
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
江苏省无锡市105信箱微电子技术编辑部
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
141
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