单晶硅微电机

刘利

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单晶硅微电机

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刘利

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微电机

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文献信息

篇名	单晶硅微电机
来源期刊	电子工艺简讯	学科	工学
关键词	微电机单晶硅硅
年，卷（期）	1993,（6）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	15-16
页数	2页	分类号	TM38
字数		语种
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