基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
推荐文章
直流电弧等离子喷射法沉积大面积金刚石厚膜的研究
直流电弧等离子喷射
CVD
自支撑金刚石厚膜
高功率微波等离子体环境下甲烷浓度对金刚石膜的影响
甲烷
高微波功率
微波等离子体
化学气相沉积
直流等离子体CVD金刚石薄膜涂层设备的研制
化学气相沉积
等离子体炬
金刚石膜
等离子体刻蚀金刚石膜的研究方法及现状
等离子体刻蚀
金刚石膜
进展
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 直流等离子体喷射法在Ar—H2—C2H5OH体系中沉积金刚石膜的初步研究
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 Ar-H2-C2H5OH 等离子体 金刚石
年,卷(期) 1993,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 210-216
页数 7页 分类号 TN304.180
字数 语种
DOI
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
1993(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
Ar-H2-C2H5OH
等离子体
金刚石
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
总下载数(次)
1
总被引数(次)
0
论文1v1指导