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微机械氮化硅梁谐振式压力传感器
微电子机械加工技术
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谐振式压力传感器
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压力传感器
绝缘体上硅
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 采用硅熔焊技术制作的谐振梁式压力传感器
来源期刊 国外传感技术 学科 工学
关键词 压力传感器 硅熔焊 谐振梁式
年,卷(期) gwcgjs_1994,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 86-91
页数 6页 分类号 TH812
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1994(0)
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研究主题发展历程
节点文献
压力传感器
硅熔焊
谐振梁式
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
国外传感技术
双月刊
合肥市1002信箱
出版文献量(篇)
571
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