同时旋转起偏器和检偏器的红外椭圆偏振光谱仪研制

• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 红外椭圆偏振光谱仪 椭偏参数 光学常数
• 年，卷（期）: 1998,（5）
• 页码范围: 3-8
• 页数: 6页
• 分类号: TH744.21,TN214
• 语种: 中文

摘要

研制成测量材料光学特性的红外椭圆偏振光谱仪,其测量波长范围为2.5~12.5μM,入射角度在20°~90°连续可变.系统数据采集、前放自动增益控制、入射角度和波长设置及扫描均由计算机自动控制.给出了金反射率和GAAS体材料折射率椭偏测量,并与其它方法进行了对比,并分析了实验测量技巧和主要实验误差