集成电路基板研磨表面误差自动修正技术

• 作者: 庄司克雄 徐雅珍 杨继东 梁锡昌 郭隐彪
• 来源期刊: 重庆大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 凹凸形基板 CCD测量 自动修正研磨
• 年，卷（期）: 1999,（2）
• 页码范围: 60-62
• 页数: 3页
• 分类号: TG83|TP202.2
• 字数: 1096字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-582X.1999.02.011

摘要

针对现有LSI基板研磨过程中,表面误差修正中存在的问题,提出了一种表面误差自动修正系统.该系统采用激光技术测量研磨中的基板表面状况;并以此为基础建立加工状况数据库,同时采用楔形机构对基板表面误差修正控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁锡昌	重庆大学机械工程学院	72	985	16.0	29.0
2	杨继东	重庆大学机械工程学院	39	216	8.0	13.0
3	郭隐彪	重庆大学机械工程学院	4	10	2.0	3.0
4	徐雅珍	重庆大学机械工程学院	1	0	0.0	0.0