硅基热线式气敏元件及其特性

• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 气敏元件 硅 平面热线式 气敏特性
• 年，卷（期）: 1999,（3）
• 页码范围: 206-209
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 语种: 中文

摘要

利用射频溅射在硅衬底上制作 PT膜电极,以溶胶－凝胶法制作的低阻 SNO2为敏感层制成平面热线式气敏元件.研究了工艺条件、掺杂行为及其对气敏特性的影响.掺SB(3％ ATM)及 PT石棉(2％ WT)在 700℃烧结 1. 5 H的元件对 H2、NH3灵敏度较高.