新型硅微加速度传感器的设计与制作

• 作者: 刘理天 李军俊 杨景铭
• 来源期刊: 清华大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微加速度传感器 微机械加工技术 谐振梁 压阻效应
• 年，卷（期）: 1999,（Z1）
• 所属期刊栏目: 微电子学
• 页码范围: 84-87
• 分类号: TN405|TH824.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-0054.1999.Z1.022

摘要

研究了一种新型的谐振式硅微加速度传感器,对其结构和工艺进行设计,并制作出了一系列不同结构和尺寸的这种器件.该加速度传感器在制作支撑梁的同时制作了用于检测信号的谐振梁,并采用电阻热驱动、压阻桥同步检测的方法来获得信号输出.设计方案利用了压阻传感技术和体硅微加工技术,又拥有谐振原理所带来的高分辨率,高稳定性和易于与信号处理电路结合的优点,以较低的成本获得了很高的器件性能.其结构尺寸从3mm×4mm到6mm×6mm不等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	李军俊	清华大学微电子学研究所	1	26	1.0	1.0
3	杨景铭	清华大学微电子学研究所	2	58	2.0	2.0