表面微机械静电梳状驱动结构的研究

• 作者: 刘理天 吴徽 杨景铭
• 来源期刊: 清华大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 静电梳状驱动结构 表面微机械 牺牲层 粘连
• 年，卷（期）: 1999,（Z1）
• 所属期刊栏目: 微电子学
• 页码范围: 69-73
• 分类号: TN405
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-0054.1999.Z1.018

摘要

静电梳状驱动器(ECS)是包括振荡器、微加速度计、微陀螺及微电动机等在内的微机电系统的核心组成部件,可作为执行器和传感器用.该文用表面微机械工艺研制出静电梳状驱动结构,在理论分析基础上,使用电容提取软件Fastcap和有限元分析软件Algor进行了电学模拟和材料力学模拟,并针对灵敏度进行了优化设计.对表面微机械工艺的关键步骤进行研究和改进.释放成功的悬臂梁长度超过200μm. 初步电测试结果表明静电梳状驱动器工作正常.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	吴徽	清华大学微电子学研究所	3	36	2.0	3.0
3	杨景铭	清华大学微电子学研究所	2	58	2.0	2.0