热驱动微型泵的实验研究

• 作者: 刘理天 尹执中 庞江涛 徐宁 胡桅林 过增元 金观昌
• 来源期刊: 功能材料与器件学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微型机械 微型泵 传热 流动
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 65-70
• 页数: 6页
• 分类号: TN389
• 字数: 1627字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-4252.2000.02.001

摘要

本文对热驱动微型泵在空载和有负载(即泵送液体)情况下的性能进行了实验研究.空载情况下,在所测频率范围内,膜片的振幅随频率减小,但泵腔的体积变化率随频率基本不变;随着加热功率的增加,膜片平衡位置逐渐远离其静止位置,当功率足够大时,膜片平衡位置的变化将减缓,振幅变化也将减缓.实验测定了有负载情况下泵的频率特性,对应于最大流量的频率为3Hz;实测了流量随加热功率的变化,当功率较小时,流量缓慢变化,当功率较大时,流量迅速增大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	过增元	清华大学工程力学系	149	3472	29.0	55.0
2	金观昌	清华大学工程力学系	40	1318	21.0	36.0
3	刘理天	清华大学微电子所	230	1519	19.0	23.0
4	徐宁	清华大学工程力学系	8	52	4.0	7.0
5	胡桅林	清华大学工程力学系	24	206	7.0	14.0
6	尹执中	清华大学工程力学系	6	168	6.0	6.0
7	庞江涛	清华大学微电子所	4	66	4.0	4.0