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直流电弧等离子喷射法沉积大面积金刚石厚膜的研究
直流电弧等离子喷射
CVD
自支撑金刚石厚膜
金刚石膜介电性能影响因素的研究
金刚石
自支撑金刚石膜
杂质
介电性能
磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用
磁透镜技术
金刚石沉积膜
类金刚石沉积膜
甲烷浓度对大面积金刚石膜生长的影响
金刚石膜
甲烷浓度
膜的质量
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 大面积金刚石膜生长环境气氛的计算机模拟
来源期刊 北京科技大学学报 学科
关键词
年,卷(期) 2000,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 156
页数 4页 分类号
字数 3850字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1001-053X.2000.02.017
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期刊影响力
工程科学学报
月刊
2095-9389
10-1297/TF
大16开
北京海淀区学院路30号
1955
chi
出版文献量(篇)
4988
总下载数(次)
18
总被引数(次)
47371
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