SOL-GEL方法制备PZT铁电薄膜新方法及铁电特性研究

• 作者: 姚海平 姜国宝 汤庭鳌 程旭 钟琪 颜雷 黄维宁
• 来源期刊: 材料科学与工程
• 关键词: SOL-GEL PZT 钙钛矿结构
• 年，卷（期）: 2000,（z2）
• 所属期刊栏目: 陶瓷功能材料
• 页码范围: 758-761
• 页数: 4页
• 字数: 2235字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2000.z2.053

摘要

我们用SOL-GEL方法对PZT的制备进行了深入细致的研究,PZT薄膜不同组分的加入顺序对铁电特性的影响较小,而精确地控制PZT铁电薄膜的组分是制备性能良好的铁电薄膜的关键,铁电薄膜的退火条件对铁电薄膜特性有着至关重要的影响.我们运用将Zr及Ti有机物溶液加入Pb的有机溶液的新的制备工艺流程以精确地控制Pb/Zr/Ti的组分,从而制备出性能良好的铁电薄膜.在大量实验的基础上,我们绘制出扩散炉和快速热退火时,钙钛矿的形成与退火温度及时间的关系图,并且得出PZT铁电薄膜最佳的退火温度和时间区域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汤庭鳌	复旦大学电子工程系微电子学研究所	28	186	7.0	13.0
2	程旭	复旦大学电子工程系微电子学研究所	14	43	3.0	6.0
3	颜雷	复旦大学电子工程系微电子学研究所	1	0	0.0	0.0
4	黄维宁	复旦大学电子工程系微电子学研究所	6	24	2.0	4.0
5	姜国宝	复旦大学电子工程系微电子学研究所	3	0	0.0	0.0
6	姚海平	复旦大学电子工程系微电子学研究所	2	0	0.0	0.0
7	钟琪	复旦大学电子工程系微电子学研究所	3	4	1.0	2.0