燃焰法沉积高质量金刚石厚膜的研究

• 作者: 于骏一 陈吉安 黄树涛
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 燃焰法 金刚石厚膜 沉积
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 简报
• 页码范围: 102,106
• 页数: 2页
• 分类号: TN304.18
• 字数: 1101字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2000.01.036

摘要

研究了气体流量比(O/CH)对燃焰法沉积金刚石厚膜的影响,并以约50μm/h的较高速率沉积出了均匀、致密呈淡黄色透明状的高质量金刚石厚膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄树涛	吉林工业大学机械科学与工程学院	4	23	3.0	4.0
2	于骏一	吉林工业大学机械科学与工程学院	16	238	7.0	15.0
3	陈吉安	吉林工业大学机械科学与工程学院	3	42	3.0	3.0