膜混合集成电路、MOS集成电路

• 来源期刊: 电子科技文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 混合集成电路 集成电路设计 制造方式 教学工具 低成本 优化设计 深亚微米器件 技术 加工 逻辑电路
• 年，卷（期）: 2000,（12）
• 页码范围: 35-36
• 页数: 2页
• 分类号: TN

摘要

【正】 Y2000-62169-4 0020099采用 CMP 技术的先进的低成本加工制造方式=Ad-vanced low cost manufacluring from CMP service[会,英]/Torki,K.& Courtois,B.//Proceedings of the1999 International Conference on Microelectronic Sys-tems Education(MSE’99).-4～5(YP)Y2000-62169-47 0020100一种基于 PC 机的 CMOS 集成电路设计教学工具:APC-based educalional tool for CMOS integrated ciruit de-