热丝CVD系统内衬底温度分布的数值研究

• 作者: 戚学贵 陈则韶
• 来源期刊: 材料科学与工程
• 学科: 地球科学
• 关键词: 热丝法化学气相沉积 金刚石薄膜 辐照度 热传导 温度场文标识码:A
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 页码范围: 29-33
• 页数: 5页
• 分类号: TQ164.8|P423
• 字数: 4130字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2001.03.005

摘要

热丝法化学气相沉积金刚石薄膜系统内, 衬底温度和碳源气体浓度是金刚石薄膜生长最为重要的参数.本文根据传热学基本原理,数值模拟了衬底表面辐照度、温度分布,讨论了衬底热传导等因素对衬底温度分布的影响,探讨了如何改善衬底温度均匀性.结果表明,考虑衬底横向热传导后,衬底表面温度分布均匀性明显优于基于辐射热平衡得到的温度分布,在一定程度上有利于生长大面积薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈则韶	中国科学技术大学工程科学学院	108	1106	18.0	26.0
2	戚学贵	中国科学技术大学工程科学学院	13	152	6.0	12.0