微电子机械声传动器和传感器研究

• 作者: 张广明 张淑仪 水修基 程利平 郁炯
• 来源期刊: 中国学术期刊文摘
• 学科: 物理学
• 关键词: 微电子机械 声表面波 马达 传感器
• 年，卷（期）: 2001,（9）
• 页码范围: 1156-1157
• 页数: 2页
• 分类号: O429
• 语种: 中文

摘要

微电子机械声传动器和传感器主要包括微型声傅动器(声马达),声传感器和传声器(扬声器)等.从研制小型声马达人手,提出一种以声表面波驱动的转动马达,并从实验和理论两方面对其性能和机理进行了研究.另一方面,开展了声表面波传感器的研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张淑仪	近代声学国家重点实验室南京大学声学研究所	13	87	5.0	9.0
2	水修基	近代声学国家重点实验室南京大学声学研究所	2	1	1.0	1.0
3	张广明	近代声学国家重点实验室南京大学声学研究所	1	0	0.0	0.0
4	程利平	近代声学国家重点实验室南京大学声学研究所	1	0	0.0	0.0
5	郁炯	近代声学国家重点实验室南京大学声学研究所	1	0	0.0	0.0