化学气相沉积技术与材料制备云南省应用基础研究基金

• 作者: 李靖华 胡昌义
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 材料制备 贵金属
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 综合述评
• 页码范围: 364-368
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.494
• 字数: 3103字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2001.05.011

摘要

概述化学气相沉积技术的一般原理与技术,总结化学气相沉积技术在材料制备方面的发展与应用状况,着重介绍化学气相沉积技术在制备贵金属薄膜和涂层领域的最新进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡昌义		26	117	7.0	9.0
2	李靖华		6	47	5.0	6.0