原子力显微镜在金刚石表面微结构分析中的应用

• 作者: 张竟敏 褚家如 阎立峰 陈宇航 黄文浩
• 来源期刊: 电子显微学报
• 学科: 化学
• 关键词: 金刚石 磨削 微结构 原子力显微镜
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 607-609
• 页数: 3页
• 分类号: O613.7|O781|TN16
• 字数: 855字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6281.2001.05.014

摘要

本文报告用原子力显微镜(AFM)测量金刚石精密加工表面的微观结构,获得了用机械抛光法与热化学抛光法得到的表面纳米级形貌.前者呈直线纹理,反映出金刚石磨料的刮削机理,后者表面较平滑,无明显加工纹理,但在磨削方向出现一些蚀坑,反映出碳原子扩散的化学磨削机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚家如	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	76	566	14.0	19.0
2	陈宇航	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	20	96	6.0	8.0
3	黄文浩	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	88	768	14.0	23.0
4	阎立峰		13	437	9.0	13.0
5	张竟敏	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	3	29	2.0	3.0