微型硅谐振式压力传感器的研制

• 作者: 于中尧 崔大付 王利 陈德勇 韩泾鸿
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械加工技术 硅谐振梁 压力传感器
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: MEMS专题
• 页码范围: 49-51
• 页数: 3页
• 分类号: TN629.1
• 字数: 1506字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2001.02.018

摘要

利用微电子机械加工技术成功地研制出电热激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器。传感器的谐振器的品质因素Q值在真空中大于10?000。采用特殊闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性，压力测试范围0～400?kPa，线性相关系数0.999?9，测试精度优于0.1%FS。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩泾鸿	中国科学院电子学研究所	29	197	7.0	12.0
2	崔大付	中国科学院电子学研究所	77	974	17.0	27.0
3	王利	中国科学院电子学研究所	57	381	11.0	17.0
4	陈德勇	中国科学院电子学研究所	48	348	11.0	16.0
5	于中尧	中国科学院电子学研究所	7	87	5.0	7.0