以PZT薄膜为驱动和传感的微型陀螺研制

• 作者: 李世玮 虞吉林 马薇
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 压电效应 科里奥利力 微机械制造 IC兼容技术 微型陀螺
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 18-22
• 页数: 5页
• 分类号: TH824.3|TN40
• 字数: 3328字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2001.01.006

摘要

利用压电陶瓷PZT的正反压电效应，将PZT薄膜同时作为驱动及传感材料，设计并制造了两种新颖的以IC兼容技术制作在硅片上的压电薄膜微型陀螺。高质量的PZT薄膜是在Pt／Ti／SiO2／Si基底上以溶胶-凝胶技术铺设的。基于反压电效应，微型陀螺在其谐振频率上被输入的交流信号驱动，由其正压电效应，可检测到与转动角速度成正比的输出信号。文章分别介绍了两种微型陀螺的设计原理，详述了制作方法，并对制出的压电微型陀螺进行了检测，得到的结果与预测结果相符。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	虞吉林	中国科学技术大学力学和机械工程系	41	614	15.0	24.0
2	李世玮	香港科技大学机械工程系	12	104	5.0	10.0
3	马薇	中国科学技术大学力学和机械工程系	2	34	2.0	2.0