用椭圆偏振测量法分析碲镉汞的组分及其均匀性

• 作者: 蔡毅 钱晓凡 陈永安 黄仕华
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 椭圆偏振测量 碲镉汞 组分均匀性
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文与技术报告
• 页码范围: 224-226
• 页数: 3页
• 分类号: TN215|TN304.25
• 字数: 1477字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2001.03.020

摘要

简略介绍了椭偏仪的测量原理和测量装置。分析了Hg1-xCdxTe(MCT)的组分与椭偏仪的参数Δ和ψ之间的关系，结果发现碲镉汞的组分x主要与椭偏仪的参数ψ有关，而且x与ψ的经验关系为ψ=14.84-10.22x。最后用椭圆偏振测量的方法分析了碲镉汞的横向和纵向组分均匀性。该方法具有非破坏性、有效、快捷的特点。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡毅		29	641	12.0	25.0
2	钱晓凡	昆明理工大学理学院	65	651	13.0	24.0
3	黄仕华	昆明理工大学理学院	7	36	3.0	6.0
4	陈永安	昆明理工大学理学院	5	8	2.0	2.0