透绝缘层内窥透视集成电路法中Lock-in的应用

• 作者: Рау З И 周开邻 徐晓华 李亚文 李萍 梁竹关 王建 肖玲 胡问国
• 来源期刊: 数据采集与处理
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电子显微镜 透过表面绝缘层 非接触无损 显微内窥透视检测法 半导体和集成电路 微结构和缺陷 锁相放大器
• 年，卷（期）: 2001,（z1）
• 所属期刊栏目: 微弱信号检测设备和应用
• 页码范围: 108-111
• 页数: 4页
• 分类号: TN16|TN4
• 字数: 1901字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-9037.2001.z1.030

摘要

提出一种新的在扫描电子显微镜中非接触无损透过半导体和集成电路表面绝缘层显微内窥透视检测掩盖在其绝缘层下面的半导体的缺陷和集成电路微结构的检测法(简称透表法)和用此法所观测到的图像。同时，本文还介绍了在此新检测法中Lock-in的应用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李萍		16	102	6.0	9.0
2	王建	云南大学物理系	10	29	3.0	5.0
3	肖玲	云南大学物理系	6	13	3.0	3.0
4	梁竹关	云南大学物理系	14	18	3.0	3.0
5	周开邻	云南大学物理系	9	22	3.0	4.0
6	胡问国	云南大学物理系	7	15	3.0	3.0
7	李亚文		10	31	4.0	5.0
8	徐晓华		6	13	3.0	3.0
9	Рау З И	俄罗斯科学院微电子研究所	2	0	0.0	0.0