Lock-in用于无损显微分层内窥透视集成电路法

• 作者: Рау З И 周开邻 徐晓华 李亚文 李萍 梁竹关 王建 肖玲 胡问国
• 来源期刊: 数据采集与处理
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电子显微镜 电子束 非接触无损 显微分层内窥透视检测法 半导体和多层结构集成电路 分层的微结构和缺陷 锁相放大器
• 年，卷（期）: 2001,（z1）
• 所属期刊栏目: 微弱信号检测设备和应用
• 页码范围: 112-115
• 页数: 4页
• 分类号: TN14|TN4
• 字数: 1715字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-9037.2001.z1.031

摘要

提出一种新的扫描电子显微镜电子束非接触无损显微分层内窥透视半导体和多层结构集成电路表面层下亚表面层内半导体的缺陷和多层结构集成电路微结构的检测法(简称分层法)和用此法所观测到的分层内窥透视的图像.同时,还介绍了Lock-in在此新检测法中的应用

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李萍		16	102	6.0	9.0
2	王建	云南大学物理系	10	29	3.0	5.0
3	肖玲	云南大学物理系	6	13	3.0	3.0
4	梁竹关	云南大学物理系	14	18	3.0	3.0
5	周开邻	云南大学物理系	9	22	3.0	4.0
6	胡问国	云南大学物理系	7	15	3.0	3.0
7	李亚文		10	31	4.0	5.0
8	徐晓华		6	13	3.0	3.0
9	Рау З И	俄罗斯科学院微电子研究所	2	0	0.0	0.0