硅压力传感器的可靠性试验方法及失效分析

• 作者: 易德兴 王善慈 王蕴辉 齐虹
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 可靠性 试验方法 失效模式 压力传感器
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 计算与测试
• 页码范围: 31-33
• 页数: 3页
• 分类号: TP202.+1
• 字数: 2507字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2001.04.009

摘要

通过对一种特定结构的硅压力传感器进行动态综合应力寿命试验,探讨了硅压力传感器的可靠性实验方法;并对失效样品进行了解剖分析，研究了它在温度、电压和压力共同作用下的失效机理，分析了产品设计、工艺与可靠性的关系，提出了相应的改进措施。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王蕴辉		5	42	4.0	5.0
2	齐虹		4	58	3.0	4.0
3	王善慈		5	35	3.0	5.0
4	易德兴		1	21	1.0	1.0