用含表面活性剂和螯合剂的清洗液清洗硅片的研究

• 作者: 于新好 刘忠立 曹宝成 马洪磊 马瑾
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 表面清洗 XPS 形貌
• 年，卷（期）: 2001,（9）
• 页码范围: 1226-1229
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 1784字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.09.028

摘要

目前半导体工业生产中普遍采用的清洗技术是RCA清洗技术.文中介绍了一种含表面活性剂和螯合剂的新型半导体清洗剂和清洗技术.并利用X射线光电子谱和原子力显微镜等测试方法,分别比较了用两种清洗技术清洗过的硅片表面.测试结果表明,它们的去污效果基本相当.但对硅片表面的粗糙化影响方面,新型半导体清洗技术优于标准RCA清洗技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马瑾	山东大学光电材料与器件研究所	44	495	13.0	20.0
2	马洪磊	山东大学光电材料与器件研究所	58	681	15.0	23.0
3	刘忠立	中国科学院半导体研究所	77	412	12.0	14.0
4	曹宝成	山东大学光电材料与器件研究所	6	74	5.0	6.0
5	于新好	山东大学光电材料与器件研究所	5	56	4.0	5.0