半导体器件

• 来源期刊: 电子科技文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体器件 微电子学 绝缘体上硅 会议录 有源像素 成象仪 量子效率 衬底 微技术 制备
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 页码范围: 16-17
• 页数: 2页
• 分类号: TN

摘要

【正】 Y2000-62422-102 0103662在绝缘体上硅衬底上制备 CMOS 成象仪的混合有源像素=Building hybrid active pixels for CMOS imager onSOI substrate[会,英]/Zhang,W-Q.& Chan,M.-S.//1999 IEEE International SOI Conference Proceed-ings.—102～103(EC)Y2000-62524 01036632000年 IEEE 第22届微电子学会议录,卷1=2000IEEE proceedings of 22nd international conference on mi-croelectronics,Vol.1[会,英]/Yugoslavia IEEE Section-EDS/SSC Chapter.—IEEE,2000.—395P.(EC)本会议录收集了于2000年5月14～17日在南斯