微型机械材料的力学特性测量

• 作者: 何日晖 叶雄英 周兆英
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微型机械 力学特性 弹性模量 残余应力 疲劳特征 破坏强度
• 年，卷（期）: 2001,（z1）
• 所属期刊栏目: 材料工程
• 页码范围: 201-204
• 页数: 5页
• 分类号: TH113
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2001.z1.073

摘要

概述了国内外MEMS材料力学特性的测量原理、方法和特点,主要包括弹性模量、残余应力、疲劳特性、破坏强度的测量,为微机电系统的设计和制造提供有益的参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周兆英		205	3706	31.0	54.0
2	叶雄英		62	1070	15.0	31.0
3	何日晖		3	22	2.0	3.0