从光电子峰的背景信号获得成分深度分布信息: Tougaard背景拟合方法

• 作者: 季振国 朱玲
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 化学
• 关键词: 光电子谱 背景拟合 深度剖析
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 454-458
• 页数: 5页
• 分类号: O655.9|O482.7
• 字数: 2664字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2002.06.014

摘要

光电子谱中的背景信号包含样品的信息,但过去往往被忽略.实际上通过分析背景信号,可以获得成分随深度分布等信息.本文介绍Tougaard背景拟合法及其在光电子谱深度剖析中的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	季振国	浙江大学硅材料国家重点实验室	48	467	12.0	19.0
2	朱玲	浙江大学硅材料国家重点实验室	17	122	6.0	11.0