半导体设备热传输中的隐式-显式多步有限元法

• 作者: 陈蔚
• 来源期刊: 数学研究
• 学科: 数学
• 关键词: 半导体设备 热传输 强A(0)稳定 多步法 有限元法
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 109-123
• 页数: 15页
• 分类号: O175.8
• 字数: 5591字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-6837.2002.02.001

摘要

考虑热引导半导体设备中的传输行为. 用一个有限元法离散电子位势所满足的Poisson方程;用隐式-显式多步有限元法处理电子密度和空洞密度满足的两个对流-扩散方程;热传导方程用隐式多步有限元法离散. 推导了优化的L2范误差估计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈蔚	中国科学院数学与系统科学研究院	5	42	4.0	5.0