有机衬底上掺Sb的SnO2透明导电膜的性质与制备参数关系的研究

• 作者: 万云芳 杨光德 杨田林 高绪团
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 透明薄膜 光电特性 溅射
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 63-67
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3249字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-488X.2002.02.001

摘要

采用射频磁控溅射法在透明聚酯胶片上制备出了SnO2∶Sb透明导电膜,主要讨论了制备条件对薄膜光电特性的影响.制备的样品为多晶薄膜,并且保持了二氧化锡的金红石结构,具有明显的[110]的趋向.通过调节制备参数,制备出了电阻率为3.7×10-3 Ω*cm,平均透过率高于80%的高质量薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	万云芳	山东理工大学物理系	15	77	5.0	8.0
2	杨田林	山东理工大学物理系	8	75	6.0	8.0
3	高绪团	山东理工大学物理系	8	96	6.0	8.0
4	杨光德	山东理工大学物理系	4	29	3.0	4.0