6K6系列多轴运动控制器在微电子领域中的应用

• 作者: 刘伟
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光调阻机 多任务实时控制器 电机驱动器
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 176-181
• 页数: 6页
• 分类号: TN409
• 字数: 3389字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2002.02.012

摘要

微电子设备(激光调阻机)中的运动控制系统是该设备的重要部分,它决定了设备的生产质量和生产效率.其特点是:高精度、高速度、高效率、高可靠性.尤其是硬件发生故障或人工非法操作时,系统的自监控、自诊断显得特别重要.介绍采用多任务实时控制器6K6(美国PARKER),按照事件驱动响应方式设计控制直线伺服电机、交流伺服电机、步进电机的速度和定位精度;并通过输出接口模块对气动元件的电磁阀进行开关量控制使机械手运行自如;通过输入接口模块对多种传感器(光纤传感器、对射式光电传感器、反射式光电传感器、接近式传感器、磁感应传感器.)进行监测等.使运动系统具有更高的可靠性、高精度和超高速,实现了产品的自动输送及完成生产过程中的各种相对运动.降低了产品的生产成本,提高设备效率,增强竞争能力,为实现现代化大规模生产提供了有力保障,填补了国内空白.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘伟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	422	5903	37.0	59.0