集成电路与超纯水

• 作者: 沈健
• 来源期刊: 洁净与空调技术
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路 超纯水 工程实例
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 专题研讨
• 页码范围: 22-26
• 页数: 5页
• 分类号: TM92
• 字数: 3292字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-3298.2002.01.006

摘要

本文以16M位、64M位集成电路工厂纯水为实例,介绍了两套超纯水装置的处理流程与制水特点,它们均已通过一年多运转的考验,处理效果稳定,水质指标分别达到了设计水质要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈健		20	39	4.0	5.0