类金刚石膜的制备及其影响因素

• 作者: 刘正义 邱万奇 陈灵 黄元盛
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 化学
• 关键词: 类金刚石膜 制备方法 影响因素
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 32-34
• 页数: 3页
• 分类号: O613.71|TQ164.8
• 字数: 3328字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1007-9289.2002.01.010

摘要

概述了近年来制备类金刚石膜的新方法如双射频辉光放电 (RF-RF)法、射频-直流辉光放电 (RF-DC)法和微波-射频 (MW-RF)法等;并且对影响类金刚石膜制备及性能的因素如基体材料、制备类金刚石膜时在膜中添加元素、类金刚石膜与基材之间的中间层等进行了较全面的分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈灵	华南理工大学机电工程系	29	99	6.0	8.0
2	邱万奇	华南理工大学机电工程系	67	339	9.0	15.0
3	刘正义	华南理工大学机电工程系	91	1225	21.0	32.0
4	黄元盛	华南理工大学机电工程系	14	113	7.0	10.0