多晶硅发射极双极晶体管的工艺设计及计算机模拟

• 作者: 何林 刘其贵 吴金 郑娥 魏同立
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 物理学
• 关键词: 多晶硅发射极 双极晶体管 双极工艺
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 页码范围: 97-100
• 页数: 4页
• 分类号: O48
• 字数: 2895字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2002.01.023

摘要

在简要分析多晶硅发射极双极晶体管特点的基础上,根据国内现有的双极工艺水平,设计了用于制备多晶硅发射极双极晶体管的工艺流程,并给出了一个最小尺寸晶体管的版图,最后对设计的多晶硅发射极晶体管的频率特性进行了模拟.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴金	东南大学微电子中心	47	437	13.0	19.0
2	刘其贵	东南大学微电子中心	14	123	5.0	11.0
3	魏同立	东南大学微电子中心	87	942	17.0	26.0
4	何林		3	20	2.0	3.0
5	郑娥		2	20	2.0	2.0