射频ICP离子源设计研究

• 作者: 任兆杏 沈克明 翁坚 许沭华
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 射频 离子源 感应耦合等离子体(ICP)
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 310-312
• 页数: 3页
• 分类号: O461.1
• 字数: 1268字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2002.04.017

摘要

本文介绍了射频(RF)感应耦合等离子体(ICP)离子源的设计研究.对RF ICP的结构、离子流的引出以及离子流的均匀性、中性化和射频匹配网络进行了研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈克明	中国科学院等离子体物理研究所	4	91	3.0	4.0
2	任兆杏	中国科学院等离子体物理研究所	20	209	9.0	14.0
3	许沭华	中国科学院等离子体物理研究所	4	66	4.0	4.0
4	翁坚	中国科学院等离子体物理研究所	13	116	5.0	10.0