非平衡磁控溅射系统的研究

• 作者: 何万强 徐新乐 雷旭
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 非平衡磁控 溅射 应用
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 机械加工与自动化
• 页码范围: 19-20
• 页数: 2页
• 分类号: TQ15
• 字数: 1036字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5311.2002.06.009

摘要

介绍了非平衡磁控溅射系统的原理、试验性能情况,并简要介绍了该系统的一些应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何万强		5	38	3.0	5.0
2	雷旭		6	39	3.0	6.0
3	徐新乐		1	17	1.0	1.0