炉温对化学气相沉积SiC涂层组成及显微结构的影响

• 作者: 刘荣军 周新贵 张长瑞 曹英斌
• 来源期刊: 国防科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 炉温梯度 化学气相沉积 SiC涂层
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 航天工程·材料工程
• 页码范围: 23-26
• 页数: 4页
• 分类号: TB332
• 字数: 1858字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2486.2002.06.006

摘要

采用SEM、EDX、XRD测试手段对沉积炉壁产物进行了分析,结果表明:低温区沉积的SiC涂层全为β-SiC;高温区SiC涂层中含有少量的游离态Si和α-SiC;高温区SiC颗粒的形核和生长速率大于低温区;所以温度是影响化学气相沉积SiC涂层组成及显微结构的主要因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张长瑞	国防科技大学航天与材料工程学院	138	1800	24.0	32.0
2	周新贵	国防科技大学航天与材料工程学院	93	1060	19.0	27.0
3	曹英斌	国防科技大学航天与材料工程学院	49	729	16.0	24.0
4	刘荣军	国防科技大学航天与材料工程学院	29	360	13.0	18.0