微型电光探针的研制

• 作者: 周志雄 张晓婷 李海兰 贾刚 陈占国
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 湿法腐蚀 电光检测 电光探针
• 年，卷（期）: 2002,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1098-1101
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.2
• 字数: 2386字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2002.10.018

摘要

介绍了用湿法化学腐蚀的方法制备GaAs晶体微型电光探针.用光学显微镜和扫描电子显微镜观察了探针形貌.微探针为金字塔形,底座是边长为20μm的正方形,尖端尺寸在2μm左右.侧面比较光滑,棱角分明.微型电光探针整体尺寸很小,在外电光检测系统中可以显著降低对被测电场的影响,从而提高测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张晓婷	吉林大学电子工程系	6	18	3.0	3.0
2	陈占国	吉林大学电子工程系	11	20	3.0	3.0
3	贾刚	吉林大学电子工程系	14	120	4.0	10.0
4	周志雄	吉林大学电子工程系	3	9	2.0	3.0
5	李海兰	吉林大学电子工程系	4	13	2.0	3.0