有机半导体薄膜三极管的研制

• 作者: 工藤一浩 朱敏 王东兴 田中国昭
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜三极管 酞菁铜 有机半导体 真空蒸发
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 645-650
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.5
• 字数: 3165字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2002.06.017

摘要

采用真空蒸镀法和有机半导体材料酞菁铜,制作Au/CuPc/Al/ CuPc/Au三明治结构的肖特基型栅极有机静电感应三极管.该三极管导电沟道垂直于CuPc薄膜,与采用MOSFET结构的有机薄膜三极管相比导电沟道大幅缩短,有利于克服有机半导体电学性能的缺点.实验结果表明,该三极管驱动电压低,呈不饱和电流-电压特性.其工作特性依赖于栅极电压和梳状铝电极的结构.通过合理设计、制作梳状铝电极,获得了良好的三极管静态、动态特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱敏		4	45	3.0	4.0
2	王东兴		3	29	3.0	3.0