集成电路工厂的噪声及控制

• 作者: 周向荣 韩科勇
• 来源期刊: 洁净与空调技术
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路工厂 噪声源 噪声控制
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 经验交流
• 页码范围: 53-54,58
• 页数: 3页
• 分类号: TB5
• 字数: 2197字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-3298.2003.04.014

摘要

本文分析了集成电路制厂的噪声来源,阐述了噪声控制的重要性及主要噪声的控制措施.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩科勇		2	6	1.0	2.0
2	周向荣		1	0	0.0	0.0