CVD金刚石膜激光铲平切割工艺研究

• 作者: 方向阳
• 来源期刊: 宁夏工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光 切割 金刚石膜
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 新材料、新工艺、新技术研究与应用
• 页码范围: 157-160
• 页数: 4页
• 分类号: TG146.3
• 字数: 3873字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7244.2003.02.017

摘要

YAG金刚石激光铲平切割机是针对宁夏机械研究院生产的CVD金刚石膜进行后加工的设备.文章介绍了金刚石膜激光铲平切割机的工作原理、结构及其优越性.通过大量的CVD金刚石膜的切割试验,同时采用工具显微镜、扫描电子显微镜对切割后的CVD金刚石进行观察、比较,从大量的试验数据中总结出了影响金刚石膜切割质量的主要因素有激光输出功率、激光束焦点位置、切割速度及编程方法,并对其进行了深入阐述.研究结果表明,CVD金刚石膜切割的最佳工艺条件:激光输出功率为45 W左右,激光束焦点处于CVD金刚石膜厚度的中心位置,切割速度在10～50 mm/min之间,采用无指令加工方式并选择适当的加工路径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方向阳		2	12	2.0	2.0