CVD金刚石膜激光切割工艺研究

• 作者: 汪建华 王亚 王传新 王俊峰
• 来源期刊: 武汉化工学院学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Nd:YAG激光器 金刚石膜 切割
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 53-55
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1
• 字数: 1847字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2869.2005.02.016

摘要

研究了焦点位置、光栏、输出能量对金刚石切割的影响.结果表明采用Nd∶YAG激光器切割金刚石膜时,焦点处于切割膜的中部时,切缝最小;加光栏后,有利于减小切割宽度,提高断面质量;对于一定厚度的金刚石膜,应选择最小的、一次能切透金刚石膜的激光输出能量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王俊峰	武汉化工学院材料科学与工程学院	4	23	3.0	4.0
2	汪建华	武汉化工学院材料科学与工程学院	57	613	12.0	20.0
3	王亚	武汉化工学院材料科学与工程学院	3	17	2.0	3.0
4	王传新	武汉化工学院材料科学与工程学院	15	326	7.0	15.0