栅极型薄膜电感的制备

• 作者: 邵新勋
• 来源期刊: 苏州科技学院学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜电感 栅极型 掩膜 品质因数
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 37-42
• 页数: 6页
• 分类号: O45
• 字数: 3309字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-0687.2003.01.008

摘要

主要讨论了采用掩膜方法制备的栅极型薄膜电感,报告这些薄膜电感的电感值和品质因数(Q值)在100 MHz～10 GHz范围的频谱特性.在此频率范围内,两种样品的电感值显示了平稳的频率特性,其数值分别为130 nH、155 nH;电阻在6 GHz以下也保持平稳,分别为31Ω、51Ω,在这个频率以上,由于高频趋肤效应而有一定的增大;Q值在1 GHz～6 GHz之间在20以上,并且在6GHz附近分别达到最大值160和110.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵新勋	苏州科技学院应用物理系	4	3	1.0	1.0