128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵铟膜及铟柱制备工艺研究

• 作者: 张丽华 李玉英 杨春丽 杨登全 黄江平 黎力
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 焦平面 非制冷探测器 铟膜 铟柱 倒装互连
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 54-58
• 页数: 5页
• 分类号: TN215
• 字数: 3904字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.06.015

摘要

着重介绍了我们在"128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵(UFPA)"研制中铟膜及铟柱的制备和我们选择铟做混合式UFPA互连材料的理由与互连方法.强调了铟膜制备基本工艺要求.根据薄膜均匀性要求,计算出了蒸发源距工件的距离及所需材料量,确定了保证铟膜不氧化的关键数据及具体操作.文中给出了铟柱列阵显微照片(显示了铟膜厚度)和铟柱列阵的立体形貌像,还介绍了铟柱列阵成型方法及铟柱生长工艺流程,并叙述了倒装互连技术,且给出了我们的成像演示照片和器件照片,展示了UFPA的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄江平		12	58	5.0	7.0
2	李玉英		5	24	3.0	4.0
3	杨登全		6	24	2.0	4.0
4	杨春丽		5	27	3.0	5.0
5	黎力		2	17	2.0	2.0
6	张丽华		2	17	2.0	2.0